美國BROOKS流量計(jì)-金屬密封壓力控制器-穩(wěn)定的壓力控制和增強(qiáng)的工藝氣體純度和最大化過程結(jié)果
Brooks Instrument 的金屬密封壓力控制器設(shè)計(jì)可靠耐用，同時提供全球用戶信賴的持續(xù)且經(jīng)過驗(yàn)證的精度，來自流體測量和控制領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者。我們的電子壓力控制器利用我們行業(yè)領(lǐng)先的熱式質(zhì)量流量控制器中的核心控制技術(shù)。
電子壓力控制器消除了與傳統(tǒng)機(jī)械彈簧隔膜壓力調(diào)節(jié)器相關(guān)的下垂和滯后。而且，選擇金屬密封壓力控制器可以提高氣體的純度，因?yàn)橄搜鯕馔ㄟ^彈性體的滲透，并且由于金屬密封可以無限期地使用，因此可以減少維護(hù)。
Brooks 壓力控制器可配備內(nèi)部壓力傳感器，以控制從 torr 到 500 psig 范圍內(nèi)的壓力。結(jié)果：壓力控制器使關(guān)鍵的半導(dǎo)體工藝保持在目標(biāo)上并處于最嚴(yán)格的控制之下——日復(fù)一日，日復(fù)一日。
主要應(yīng)用
硅半導(dǎo)體器件制造工藝——蝕刻、剝離、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、注入和 RTP
化合物半導(dǎo)體器件制造工藝——MOCVD
精密工程表面涂層
分析系統(tǒng)
真空工藝應(yīng)用
選擇最符合您項(xiàng)目要求的壓力控制裝置。
產(chǎn)品