海南供應日本HORIBA流量計修理
日本HORIBA流量計-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質量流量計
日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計
型號;
?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX
概要
SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復雜度。
特征
多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程
可變PID功能實現(xiàn)整個范圍內的高速響應（1秒內）
簡化氣路線無需額外增加調節(jié)器，傳感器，過濾器
穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動影響
搭載進氣壓傳感器
多種展示
1% S.P.的精度
潔凈設計 - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標準）
輕巧的尺寸
50SLM內相同的配件尺寸
信號兼容
模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式
數(shù)字信號控制
日本HORIBA流量計型號SEC- (質量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質量流量計)E40E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時 關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)
2?100% F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)
0?100% F.S.
響應速度
1秒以內(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)
300kPa(G)以下
耐 壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度
5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量輸出信號
0?5VDC(小負荷電阻2kΩ)
驅動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2
1/4SWL 類型
日本HORIBA流量計規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數(shù)字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大50slm N2 標稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于大200slm N2 標稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 質量流量控制器, 適用于大 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?質量流量控制器, 適用于大 200slm N2 標稱流量.
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