遼寧供應(yīng)日本HORIBA流量計(jì)聯(lián)系方式

適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。可實(shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link?, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT?），高精度（± 1.0% S.P. *1），響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。 包括SEC-N177R。質(zhì)量流量計(jì)是半導(dǎo)體制造設(shè)備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。

HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場(chǎng)占有率超過35%*1的流量計(jì)生產(chǎn)商, 長(zhǎng)期以來如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?，F(xiàn)在，手?jǐn)y的技術(shù)，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。

相對(duì)于舊有的型號(hào)，Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來。在提供客戶所需流量控制的功能的同時(shí), 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換。客戶可以根據(jù)制程需要，輕松地更改流量計(jì)氣體種類和量程*2。

此外，藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求，為客戶提升產(chǎn)品價(jià)值。

高性能的Z500系列流量計(jì)，將帶給您更多驚喜。全世界正見著這一即將改變整個(gè)半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計(jì)的誕生。

1 參考 VLSI's 2007 研究報(bào)告。
2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。


日本HORIBA流量計(jì)-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)

日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)

型號(hào);

?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復(fù)雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶可更改氣體的種類與滿量程

可變PID功能實(shí)現(xiàn)整個(gè)范圍內(nèi)的高速響應(yīng)（1秒內(nèi)）

簡(jiǎn)化氣路線無需額外增加調(diào)節(jié)器，傳感器，過濾器

穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動(dòng)影響

搭載進(jìn)氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設(shè)計(jì) - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標(biāo)準(zhǔn)）

輕巧的尺寸

50SLM內(nèi)相同的配件尺寸

信號(hào)兼容

模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式

數(shù)字信號(hào)控制

無錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專業(yè)從事銷售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。