天津進(jìn)口美國(guó)mks流量計(jì)說明書

GE50A采用標(biāo)準(zhǔn)的3英寸尺寸，常用于5sccm至50slm流速范圍內(nèi)的MFC，無(wú)需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。GE50A的設(shè)計(jì)采用了少的彈性體。只有一個(gè)外部彈性體密封和彈性體閥塞。否則，潤(rùn)濕表面都是金屬的。GE50A標(biāo)配氟橡膠密封件，以及丁腈橡膠、氯丁橡膠、EPMD或Kalrez可選件，允許該裝置用于需要這些替代件之一的氣體設(shè)定值準(zhǔn)確度的百分比對(duì)于20%至100%的全刻度流量范圍，包括的數(shù)字校準(zhǔn)產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度，使用N2校準(zhǔn)氣體。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)的過程控制，相對(duì)于滿量程精度而言。對(duì)于2%至20%滿量程的質(zhì)量流量，精度為滿量程的0.2%。

G系列GE50A013201RMV020的滿量程流量范圍為20 sccm，控制范圍為0.4至20 sccm，具有接地的15引腳D-sub mixture連接器和0-5 VDC流量輸入/輸出信號(hào)。校準(zhǔn)N2(或等效氣體)，這是一個(gè)數(shù)字控制的質(zhì)量流量控制器，利用的MKS控制算法，在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)和可重復(fù)地響應(yīng)設(shè)定點(diǎn)。美國(guó)mks流量計(jì)產(chǎn)品系列概述 GE50A彈性體密封的5-50，000 sccm質(zhì)量流量控制器

預(yù)熱：時(shí)間30分鐘工作溫度：10-50攝氏度儲(chǔ)存濕度：0至95%相對(duì)濕度，非冷凝儲(chǔ)存溫度：-20至80攝氏度外部泄漏完整性：%3C1x10-09(SCC/秒He)通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性：高達(dá)10K閥門%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS，20K-50K閥門%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料：316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光：16英寸平均半徑重量：3磅(1.4千克)服從：英國(guó)國(guó)教會(huì)

無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專業(yè)供應(yīng)商。
 
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