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MKS流量控制器
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美國(guó)mks流量計(jì)G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485、Profibus、EtherCAT、PROFINET或DeviceNetI/o。數(shù)字控制電子設(shè)備利用的MKS控制算法,在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定值做出、可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生1%的設(shè)定點(diǎn)精度。廣泛的數(shù)字和模擬接口選擇GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I/O。數(shù)字控制電子設(shè)備利用的MKS控制算法,在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)提供和可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間大約為500毫秒。GE50A的模擬和數(shù)字I/O可輕松用于替換1179AMFCs的相同I/O類(lèi)型。GE50As都包括Modbus作為可用的輔助I/O(不包括PROFINET和EtherCAT)。


嵌入式用戶(hù)界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶(hù)氣體的能力,從而降低了庫(kù)存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。成熟的專(zhuān)利熱傳感器設(shè)計(jì)提供了的零點(diǎn)穩(wěn)定性。美國(guó)專(zhuān)利號(hào)5461913。美國(guó)mks流量計(jì)產(chǎn)品系列概述GE50A彈性體密封的5-50,000sccm質(zhì)量流量控制器類(lèi)型:質(zhì)量流量控制器校準(zhǔn)氣體:N2(或同等產(chǎn)品)控制范圍:2-100sccm滿(mǎn)量程流量范圍:100sccm配件類(lèi)型:0.25英寸。世偉洛克風(fēng)格密封材料:氟橡膠流量輸入輸出信號(hào):0-5伏直流電模擬連接器:15針D-sub(接地)大入口壓力:150磅/平方英寸正常工作壓差:10至40磅/平方英寸耐受壓力:1000磅/平方英寸破裂壓力:1500磅/平方英寸典型精度:20至100%滿(mǎn)量程時(shí)為設(shè)定值的1%,2至20%滿(mǎn)量程時(shí)為滿(mǎn)量程的0.2%可重復(fù)性:讀數(shù)的0.3%


服從:英國(guó)國(guó)教會(huì)無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷(xiāo)售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的供應(yīng)商。 質(zhì)量流量控制事業(yè)部從事銷(xiāo)售服務(wù)世界的MFC,有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格,同時(shí)經(jīng)銷(xiāo)真空 和鍍膜設(shè)備的品牌包括:INFICON(美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)),COMDEL、AE、


預(yù)熱:時(shí)間30分鐘工作溫度:10-50攝氏度儲(chǔ)存濕度:0至95%相對(duì)濕度,非冷凝儲(chǔ)存溫度:-20至80攝氏度外部泄漏完整性:%3C1x10-09(SCC/秒He)通過(guò)關(guān)閉的閥門(mén)泄漏完整性:高達(dá)10K閥門(mén)%3C0.1%的40psig大氣壓力下的FS,20K-50K閥門(mén)%3C1.0%的40psig大氣壓力下的FS濕材料:316L不銹鋼VAR、316不銹鋼、埃爾吉洛伊鎳表面拋光:16英寸平均半徑重量:3磅(1.4千克)服從:英國(guó)國(guó)教會(huì)

無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專(zhuān)業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷(xiāo)售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商。
 
質(zhì)量流量控制事業(yè)部專(zhuān)業(yè)從事銷(xiāo)售服務(wù)世界著名的MFC,知名品牌有:Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品種規(guī)格齊全,同時(shí)經(jīng)銷(xiāo)真空
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